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DLC碳膜機(jī)主要應(yīng)用于紅外透鏡，實(shí)現(xiàn)加硬的效果。
特點(diǎn)：
· 摩擦系數(shù)低、基材附著力、耐磨及耐腐蝕性好
· 通過(guò)ACS全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜過(guò)程
· 排氣系統(tǒng)為機(jī)械泵+分子泵
典型應(yīng)用及光譜：
DLC-700設(shè)備主要規(guī)格參數(shù)：
真空腔室尺寸 | SUS304 φ700mmx500mm（H） |
有效區(qū)域 | φ350mm |
工件旋轉(zhuǎn) | 1-15r/min |
烘烤系統(tǒng) | 鎧裝加熱/鹵素?zé)艏訜?/p> |
真空排氣 | 機(jī)械泵+分子泵 |
操作系統(tǒng) | 觸摸屏+工控機(jī)+ACS系統(tǒng)+歐姆龍PLC |
基本性能：
極限真空 | 7x10-5Pa |
排氣時(shí)間 | 大氣-2.0x10-3Pa/20min/常溫空載 |
基板溫度 | 最高150℃ |
工作條件：
空間要求 | 約1.8m（寬）x1.6m（深）x1.8m（高） |
電源要求 | 3相4線380v50Hz、約15kw |
冷卻水要求 | 40L/min、0.3-0.4MPa、25℃ |
壓縮空氣 | 0.5-0.7MPa |
設(shè)備重量 | 約700kg |
DLC碳膜機(jī)
設(shè)備簡(jiǎn)介：
DLC碳膜機(jī)主要應(yīng)用于紅外透鏡，實(shí)現(xiàn)加硬的效果。
特點(diǎn)：
· 摩擦系數(shù)低、基材附著力、耐磨及耐腐蝕性好
· 通過(guò)ACS全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜過(guò)程
· 排氣系統(tǒng)為機(jī)械泵+分子泵
典型應(yīng)用及光譜：
DLC-700設(shè)備主要規(guī)格參數(shù)：
真空腔室尺寸 | SUS304 φ700mmx500mm（H） |
有效區(qū)域 | φ350mm |
工件旋轉(zhuǎn) | 1-15r/min |
烘烤系統(tǒng) | 鎧裝加熱/鹵素?zé)艏訜?/p> |
真空排氣 | 機(jī)械泵+分子泵 |
操作系統(tǒng) | 觸摸屏+工控機(jī)+ACS系統(tǒng)+歐姆龍PLC |
基本性能：
極限真空 | 7x10-5Pa |
排氣時(shí)間 | 大氣-2.0x10-3Pa/20min/常溫空載 |
基板溫度 | 最高150℃ |
工作條件：
空間要求 | 約1.8m（寬）x1.6m（深）x1.8m（高） |
電源要求 | 3相4線380v50Hz、約15kw |
冷卻水要求 | 40L/min、0.3-0.4MPa、25℃ |
壓縮空氣 | 0.5-0.7MPa |
設(shè)備重量 | 約700kg |
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