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400-6667-357

當(dāng)前位置：

GTV-600光學(xué)真空鍍膜機

GTV-600光學(xué)真空鍍膜機可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。

400-6667-357

產(chǎn)品詳情

　　GTV系列光學(xué)真空鍍膜設(shè)備可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。

　　設(shè)備特點：

　　· 腔體尺寸φ600-φ2700mm

　　· 高離子流密度射頻離子源

　　· 雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

　　· ACS全自動鍍膜控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動鍍膜過程

　　· 工件架可選擇球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式

　　· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷

　　GTV-600主要規(guī)格參數(shù)：

真空腔室尺寸	SUS304 φ600mmx750mm（H）
工件盤有效鍍膜尺寸	φ550mm
基板回轉(zhuǎn)速度	3r/min-30r/min(可變)
晶振膜厚儀	XTC-3+6點晶控
蒸發(fā)源	E型電子槍2套
離子源	GTHC-8
真空排氣	機械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵

　　基本性能：

極限真空	8.0x10-5Pa
排氣時間	大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載
基板溫度	**350℃

　　工作條件：

空間要求	約2.2m（寬）x2.9m（深）x2.1m（高）
電源要求	3相4線380v50Hz、約50kw
冷卻水要求	50L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃
壓縮空氣	0.6MPa
設(shè)備重量	約2000kg

GTV-600光學(xué)真空鍍膜機

GTV-600光學(xué)真空鍍膜機可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。

400-6667-357

產(chǎn)品詳情

　　GTV系列光學(xué)真空鍍膜設(shè)備可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。

　　設(shè)備特點：

　　· 腔體尺寸φ600-φ2700mm

　　· 高離子流密度射頻離子源

　　· 雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

　　· ACS全自動鍍膜控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動鍍膜過程

　　· 工件架可選擇球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式

　　· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷

　　GTV-600主要規(guī)格參數(shù)：

真空腔室尺寸	SUS304 φ600mmx750mm（H）
工件盤有效鍍膜尺寸	φ550mm
基板回轉(zhuǎn)速度	3r/min-30r/min(可變)
晶振膜厚儀	XTC-3+6點晶控
蒸發(fā)源	E型電子槍2套
離子源	GTHC-8
真空排氣	機械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵

　　基本性能：

極限真空	8.0x10-5Pa
排氣時間	大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載
基板溫度	**350℃

　　工作條件：

空間要求	約2.2m（寬）x2.9m（深）x2.1m（高）
電源要求	3相4線380v50Hz、約50kw
冷卻水要求	50L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃
壓縮空氣	0.6MPa
設(shè)備重量	約2000kg